I = ANj hn
Nj = No e-Ej/kT
I= A hn No e-Ej/kT
1) Indüktif eşleşmiş plazma (ICP) 2) Doğru akım plazması (DCP) 3) Mikrodalga plazma (MIP)
1) Aerosol halinde: Ultrasonik bir sisleştirici vasıtasıyla oluşan çok küçük damlacıklar argon gazi yardımıyla plazmaya taşınır. 2) Buhar halinde: Plazmaya sıvı ve kati numuneleri vermek için elektrotermal buharlaştırıcılar kullanılır. 3) İnce toz halinde: Nebulizer yerine lazer kullanılır.